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              超高真空组件

              • 射频发生器 射频电源
              射频发生器 射频电源

              射频发生器 射频电源

              市场上最新、最先进的射频发生器

              射频发生器从2MHz100MHz,功率从100W10kW,带有频率调谐、脉冲和操作面板

              使用最新LDMOS器件, 到达最稳定的射频性能

              满足大多数需求的灵活用户界面

              高级功能是标准配置!

              采用最新的LDMOS场效应管技术,可在半导体和工业镀膜应用中的极端动态负载下可靠工作。

              拥有广泛的功率和频率范围,允许用户在一个平台内满足您的所有需求。

              可在广泛的配置(2, 13, 274060MHz100W10kW),并配备了行业领先的组件和子组件,我们射频发生器最大限度地提高可靠性和产量。

              从高稳定射频平台提高过程控制

              可靠性稳健设计,缩短停机时间

              易于集成和控制

              特征:

              高稳定射频

              ?频率调谐

              ?电弧管理

              ?脉冲

              ?CEX/

              ?CEX相移

              ?前操作面板

              ?射频功率放大

              射频发生器产品范围:

              从毫瓦到几十千瓦的固态

              射频管设计从1000W---200kW

              频率范围高达350MHz

              集成固态和管设计

              交直流电源设计

              高压、大功率

              单相和三相设计

              模拟电路设计

              控制电路、故障检测、计量等。

              信号调节

              遥控接口

              专用硬件设计

              特定于系统的自定义软件设计

              机械包装

              自定义CAD/CAM设计

              快速成型

              应用的设备:

              PECVD设备

              ?PVD/磁控溅射机

              ?刻蚀设备

              ?工业镀膜

              射频发生器的主要用户:

              65kW CW211MHz,水冷四极管放大器,

              --------布鲁克海文国家实验室(BNL),国家同步加速器光源(NSLS)。

              55kW CW176MHz,水冷四极放大器,

              -------杜克大学,自由电子激光器(FEL

              4kW CW52MHz,水冷固态放大器,

              -------布鲁克海文国家实验室(BNL),国家同步加速器光源(NSLS

              123.5kW CW196MHz,水冷固态放大器

              -------布鲁克海文国家实验室BNL,相对论重离子对撞机(RHIC

              11500W宽带、1-30MHz、水冷、“A”级射频放大器,

              ------布鲁克海文国家实验室(BNL)相对论重离子对撞机(RHIC

              620kW长脉冲,402MHz,风冷四极放大器

              ------劳伦斯伯克利国家实验室(LBNL)散裂中子源(SNS

              380kW长脉冲,2MHz,风冷四极放大器

              -----LBLSNS)和橡树岭国家实验室(ORNL)的(SNS

              8kW CW211MHz,水冷固态放大器

              ------布鲁克海文国家实验室(BNL),国家同步加速器光源(NSLS

              2kW CW200MHz,风冷固态放大器-------康奈尔大学

              20kW CW27MHz,风冷固态,移动射频发生器-------KAI技术公司

              25kW CW18-32MHz,自动调谐,水冷,四极射频放大器,

              ------------Joint Institute for Nuclear Research (JINR),,(FlerovLab

              15kW CW11-12MHz,自动调谐,水冷,三极射频放大器

              -------------Joint Institute for Nuclear Research (JINR),(FlerovLab

              4个双300W输出,88-108MHz,用于调频发射机-----NAVAIR Spiral 3项目

              12kW CW,101MHz水冷三极射频放大器---------华中科技大学

              100kW CW1.0MHz,水冷,四极射频放大器------华中科技大学

              45kW CW7.210.5MHz, 水冷,三极射频放大器--------JINR(弗莱罗夫实验室)

              15kW CW,宽带(35-65MHz),固态,水冷射频放大器--------印度ITER

              120kW CW48MHz,水冷,四极射频放大器-------印度的IUAC

              30kW CW97MHz,水冷,三极管射频放大器-----印度的IUAC

              3kW CW13.56射频放大器和匹配网络----印度IPR

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