<ins id="nvldp"></ins>

        <ol id="nvldp"></ol>

          <font id="nvldp"></font>

            <ol id="nvldp"><menuitem id="nvldp"><video id="nvldp"></video></menuitem></ol>
              语言选择: 中文版 ∷  英文版

              超高真空组件

              • 等离子体原子/离子源
              等离子体原子/离子源

              等离子体原子/离子源

              等离子体原子/离子源
              我司提供等离子体源是通过将气体分离来产生感应耦合等离子体,包括氮气,氧气和氢气等分子气体。使用1个射频线圈(频率13.56MHz),能量将转化为等离子体,这会产生仅具有最低离子能量的”软”等离子体。
              我司提供的这款电子束蒸发源是由高质量,完全与高真空兼容材料构成,并且可以烘烤至250℃。


              应用范围:
              氧化物
              氮化物
              掺杂

              配置参数:
              多种型号不同功率RF等粒离子体源可选;
              在等离子体源终端位置可添加离子束加热器
              自动匹配网络
              等粒子体监测
              手动/自动 挡板
              放电管
              适用气体,如O2, N2, H2, CH4等
              占用空间小
              冷却水流量低,
              气体流速可控
              凤凰彩票